Dissertação de Mestrado #520: Gustavo Ferrari
Produção e Caracterização de Membranas Suspensas de Grafeno
Autor: Gustavo Arrighi Ferrari
Banca Avaliadora
Rodrigo Gribel Lacerda (orientador)
Física - UFMG
Ânelo Malachias de Souza
Física - UFMG
Ricardo Wagner Nunes
Física - UFMG
Orientadores
Rodrigo Gribel Lacerda (orientador)
Departamento de Física - UFMG
Resumo do Trabalho
Neste trabalho de dissertação realizamos a produção e caracterização de membranas suspensas de grafeno CVD utilizando técnicas de litografia óptica. Serão apresentados resultados do desenvolvimento de uma plataforma de grafeno CVD suspenso que permite a passagem de líquidos sob as janelas de grafeno. Esse processo foi realizado utilizando um substrato de silício com uma camada de SiN (Nitreto de Silicio) e diversas etapas de litografia óptica, metalização e corrosão. Finalmente, após a plataforma pronta, apresentaremos resultados da interação do grafeno suspenso com meios líquidos utilizando a técnica de espectroscopia de força.