Dissertação de Mestrado #520: Gustavo Ferrari

Produção e Caracterização de Membranas Suspensas de Grafeno

Autor: Gustavo Arrighi Ferrari

Banca Avaliadora

Rodrigo Gribel Lacerda (orientador)

Física - UFMG

Ânelo Malachias de Souza

Física - UFMG

Ricardo Wagner Nunes

Física - UFMG

Orientadores

Rodrigo Gribel Lacerda (orientador)

Departamento de Física - UFMG

Resumo do Trabalho

Neste trabalho de dissertação realizamos a produção e caracterização de membranas suspensas de grafeno CVD utilizando técnicas de litografia óptica. Serão apresentados resultados do desenvolvimento de uma plataforma de grafeno CVD suspenso que permite a passagem de líquidos sob as janelas de grafeno. Esse processo foi realizado utilizando um substrato de silício com uma camada de SiN (Nitreto de Silicio) e diversas etapas de litografia óptica, metalização e corrosão. Finalmente, após a plataforma pronta, apresentaremos resultados da interação do grafeno suspenso com meios líquidos utilizando a técnica de espectroscopia de força.