Dissertação de Mestrado #282: McGlennon Régis
Estudo da oxidação de AlAs em heteroestruturas semicondutoras
Autor: McGlennon da Rocha Régis
Banca Avaliadora
Wagner Nunes Rodrigues (orientador), Física
UFMG
Sebastião José Nascimento de Pádua, Física
UFMG
Vagner Eustáquio de Carvalho, Física
UFMG
Karla Balzuweit, Física
UFMG
Orientadores
Wagner Nunes Rodrigues (orientador)
Departamento de Física - UFMGi
Franklin Massami Matinaga (coorientador)
Departamento de Física - UFMG
Resumo do Trabalho
No presente trabalho, estudamos o processamento por oxidação de AlAs em heteroestruturas semicondutoras. Nossos resultados mostram uma dependência direta do comprimento de oxidação com o tempo de exposição à atmosfera oxidante. Isso acarreta uma mudança na refletividade das heteroestruturas com um deslocamento da faixa de refletividade máxima para comprimentos de onda menores. Determinamos o perfil químico das estruturas e mostramos a perda de As nas regiões oxidadas. Nossos resultados mostram um desnível na fronteira entre as regiões oxidadas e nãooxidadas. Concluímos que o processo de oxidação ocorre significativamente nas camadas de AlAs, não sendo percebido o mesmo para as camadas de GaAs.