Tese de Doutorado #193: Elisângela Pinto

Nanolitografia por Microscopia de Varredura por Sonda

Autor: Elisângela Silva Pinto

Banca Avaliadora

Bernardo Ruegger Almeida Neves (orientador), Física

UFMG

Luiz Orlando Ladeira, Física

UFMG

Ricardo Wagner Nunes, Física

UFMG

José Mário Carneiro Vilela, CETEC/MG

Sukarno Olavo Ferreira, Física

UFV

Orientadores

Bernardo Ruegger Almeida Neves

Departamento de Física - UFMG

Resumo do Trabalho

Neste trabalho serão apresentadas e discutidas as capacidades de utilização das técnicas de Microscopia de Varredura por Sonda (SPM) para a construção de dispositivos na escala nanométrica.