Dissertação de Mestrado #721 – Mateus Batista Pedrolongo – 25/04/2024

Esta dissertação teve como objetivo a caracterização e processamento de um dispositivo microfluídico com janelas especiais para permitir microscopia de varredura de micro-ondas, de modo a viabilizar a análise de amostras em ambientes líquidos com baixa perda e dispersão. A construção do conhecimento e do dispositivo passa por técnicas de modelagens 3D, simulações de elementos finitos, usinagem, fotolitografia e processos de corrosão em meio líquido (wet ecthing) e seco (dry etching). Tal condição foi verificada por meio de simulações de elementos finitos e testes dos dispositivos fabricados em microscopia sMIM, utilizando suspensões de microesferas de poliestireno em água, permitindo concluir que os dispositivos fabricados se prestam ao propósito posto.